Kyutacarは九州工業大学で生産された研究成果を オープンアクセスで提供する機関リポジトリシステムです。 Kyutacar is open-access repository of research by members of the Kyushu Institute of Technology.
Study of fine metallic wiring using ionized sputtering
目次
第1章 序論|第2章 イオン化スパッタに適したマグネット構造|第3章 イオン化スパッタによるゲート酸化膜ダメージの評価|第4章 ビアバリアメタル形成用イオン化スパッタ開発|第5章 300mm基板のバリア成膜用イオン化スパッタ開発|第6章 結論|謝辞|付録 A 発光分光による電子温度算出|付録 B プラズマシミュレーション|付録 B スパッタシミュレーション|参考文献
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