WEKO3
アイテム
Interaction between n‐type amorphous hydrogenated silicon films and metal electrodes
http://hdl.handle.net/10228/1508
http://hdl.handle.net/10228/1508a03ae38a-a903-46c9-8c47-b1b318cd7ad7
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
kohiki_31.pdf (5.1 MB)
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| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 = Journal Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2009-02-20 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Interaction between n‐type amorphous hydrogenated silicon films and metal electrodes | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 著者 |
Ishihara, S
× Ishihara, S× Hirao, T× Mori, K× Kitagawa, M× Ohno, M× 古曵, 重美 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | The interactions of Al and NiCr electrodes with hydrogenated n -type amorphous silicon films have been investigated in a temperature range of 100-300 degrees C. It was found that pits were produced in the a-Si films at temperatures above 170 degrees C in the case of Al electrodes, while they were not observed in the case of NiCr electrodes even if heat-treated at a temperature of 350 degrees C. From the Auger electron spectroscopy measurements, it was shown that a marked interdiffusion of Al and Si occurs. The sheet resistance of the a-Si films began to increase at temperatures above 170 degrees C. The contact resistivity between the a-Si films and Al electrodes could not be determined in the case of a-Si films with usual low conductivity. For the specimens with high conductivity [ σ ~1( Omega cm)-1], the value of about 1*10-3 Omega cm2 was obtained | |||||
| 言語 | en | |||||
| 書誌情報 |
en : Journal of Applied Physics 巻 53, 号 5, p. 3909-3911, 発行日 1982-03-01 |
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| 出版社 | ||||||
| 出版者 | American Institute of Physics | |||||
| 言語 | en | |||||
| DOI | ||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1063/1.331098 | |||||
| CRID | ||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | https://cir.nii.ac.jp/crid/1050001202929725056 | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AA00693547 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | EISSN | |||||
| 収録物識別子 | 1089-7550 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0021-8979 | |||||
| 著作権関連情報 | ||||||
| 権利情報 | Copyright © 1982 American Institute of Physics.This article may be downloaded for personal use only.Any other use requires prior permission of the author and the American Institute of Physics. | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | films | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | chemical reactions | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | silanes | |||||
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| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | metals | |||||
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| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | n&minus | |||||
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| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | type conductors | |||||
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| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | amorphous state | |||||
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| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | silicon | |||||
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| 主題 | electrodes | |||||
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| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | aluminium | |||||
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| 主題 | nickel alloys | |||||
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| 主題 | chromium alloys | |||||
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| 主題 | medium Temperatur | |||||
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| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | high Temperature | |||||
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| 主題 | data | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | heat treatments | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | auger electron spectroscopy | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | temperature dependence | |||||
| 出版タイプ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 査読の有無 | ||||||
| 値 | yes | |||||
| 業績ID | ||||||
| 値 | B042BD8DDEC8F3A349257561002024DB | |||||
