WEKO3
アイテム
アドバンスト制御の実用化に関する研究-ウェーハハンドリングロボットへの応用－
https://doi.org/10.11501/3077563
https://doi.org/10.11501/307756335a57d28-3463-488a-8b5c-eadf20b90539
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
kou_k_52.pdf (36.3 MB)
|
|
| アイテムタイプ | 学位論文 = Thesis or Dissertation(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-03-02 | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | アドバンスト制御の実用化に関する研究-ウェーハハンドリングロボットへの応用－ | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 著者 |
松本, 敏雄
× 松本, 敏雄
|
|||||||
| 目次 | ||||||||
| 内容記述タイプ | TableOfContents | |||||||
| 内容記述 | 1.序論|2.可変構造系の制御によるサーボモータのロバストな高速位置決め|3.非干渉化制御によるDDロボットの高速・高精度位置決め|4.2自由度ウェーハハンドリングロボットへのスライディングモード制|5.結論 | |||||||
| 備考 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 九州工業大学博士学位論文 学位記番号:工博甲第52号 学位授与年月日:平成6年3月25日 | |||||||
| アドバイザー | ||||||||
| 辻, 輝生 | ||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲第52号 | |||||||
| 学位名 | ||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 1994-03-25 | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||
| 学位授与機関識別子 | 17104 | |||||||
| 学位授与機関名 | 九州工業大学 | |||||||
| 学位授与年度 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 平成5年度 | |||||||
| 出版タイプ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
| ID登録 | ||||||||
| ID登録 | 10.11501/3077563 | |||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||
