WEKO3
アイテム
シリコンの水素プラズマスパッタリングに関する研究
https://doi.org/10.11501/3083285
https://doi.org/10.11501/3083285d1cd5148-b023-4c46-8ad1-29b3ea6d7999
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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kou_o_34.pdf (43.7 MB)
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| Item type | 学位論文 = Thesis or Dissertation(1) | |||||||||
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| 公開日 | 2009-03-02 | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | シリコンの水素プラズマスパッタリングに関する研究 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||
| 著者 |
孫, 勇
× 孫, 勇
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| 備考 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | 九州工業大学博士学位論文 学位記番号:工博乙第34号 学位授与年月日:平成7年3月24日 | |||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||
| 学位授与番号 | 乙第34号 | |||||||||
| 学位名 | ||||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||
| 学位授与年月日 | 1995-03-24 | |||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||||
| 学位授与機関識別子 | 17104 | |||||||||
| 学位授与機関名 | 九州工業大学 | |||||||||
| 学位授与年度 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | 平成6年度 | |||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||
| アクセス権 | ||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||
| ID登録 | ||||||||||
| ID登録 | 10.11501/3083285 | |||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||
