WEKO3
アイテム
縮小投影露光装置を用いたリソグラフィの高解像力化に関する研究
https://doi.org/10.11501/3125624
https://doi.org/10.11501/3125624e2ca31c5-d7c5-41e0-8b40-e450d762fe7b
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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jou_o_3.pdf (45.5 MB)
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| アイテムタイプ | 学位論文 = Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2009-03-02 | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 縮小投影露光装置を用いたリソグラフィの高解像力化に関する研究 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 著者 |
寺澤, 恒男
× 寺澤, 恒男
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| 備考 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 九州工業大学博士学位論文 学位記番号:情工博乙第3号 学位授与年月日:平成8年12月31日 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 乙第3号 | |||||||
| 学位名 | ||||||||
| 学位名 | 博士（情報工学） | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 1996-12-31 | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||
| 学位授与機関識別子 | 17104 | |||||||
| 学位授与機関名 | 九州工業大学 | |||||||
| 学位授与年度 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 平成8年度 | |||||||
| 出版タイプ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
| ID登録 | ||||||||
| ID登録 | 10.11501/3125624 | |||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||
