WEKO3
アイテム
Temperature-Compensated Pure Silicon Cantilever Resonator with Coupled Torsional Structure at Anchor
http://hdl.handle.net/10228/0002000728
http://hdl.handle.net/10228/00020007289b0b0463-8ebd-4e53-915b-a28f885d0d06
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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10435546.pdf (2.9 MB)
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| Item type | 学術雑誌論文 = Journal Article(1) | |||||||||||||||
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| 公開日 | 2024-06-05 | |||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||
| タイトル | Temperature-Compensated Pure Silicon Cantilever Resonator with Coupled Torsional Structure at Anchor | |||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||
| その他のタイトル | ||||||||||||||||
| その他のタイトル | TEMPERATURE-COMPENSATED PURE SILICON CANTILEVER RESONATOR WITH COUPLED TORSIONAL STRUCTURE AT ANCHOR | |||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||
| 著者 |
山田, 駿介
× 山田, 駿介
WEKO
35477
× Tanaka, Shuji
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| 抄録 | ||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||
| 内容記述 | Combined with a coupled torsional structure at the anchor, a temperature compensated cantilever resonator was developed to reduce frequency dependence. The device shows the frequency dependence of 856 ppm with the temperature ranging from 25°C to 80°C. FEM simulation indicates that the coupled torsional structure at the anchor allows us to reduce temperature dependence of resonators to be 170 ppm with temperature ranging from −40°C to 80°C, optimizing wafer dopant, density, and mode. | |||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||
| 備考 | ||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||
| 内容記述 | 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 25-29 June 2023, Kyoto, Japan | |||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||
| 書誌情報 |
en : 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers) p. 1817-1820, 発行日 2024-05-07 |
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| 出版社 | ||||||||||||||||
| 出版者 | IEEE | |||||||||||||||
| URI | ||||||||||||||||
| 識別子タイプ | URI | |||||||||||||||
| 関連識別子 | https://ieeexplore.ieee.org/document/10516776 | |||||||||||||||
| ISBN | ||||||||||||||||
| 識別子タイプ | ISBN | |||||||||||||||
| 関連識別子 | 979-8-3503-3302-2 | |||||||||||||||
| ISBN | ||||||||||||||||
| 識別子タイプ | ISBN | |||||||||||||||
| 関連識別子 | 978-4-88686-435-2 | |||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||
| 収録物識別子 | 2167-0013 | |||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | EISSN | |||||||||||||||
| 収録物識別子 | 2167-0021 | |||||||||||||||
| 著作権関連情報 | ||||||||||||||||
| 権利情報 | Copyright (c) 2024 IEEE. Personal use of this material is permitted. Permission from IEEE must be obtained for all other uses, in any current or future media, including reprinting/republishing this material for advertising or promotional purposes, creating new collective works, for resale or redistribution to servers or lists, or reuse of any copyrighted component of this work in other works. | |||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||
| 主題 | Resonator | |||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||
| 主題 | temperature compensation | |||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||
| 主題 | MEMS | |||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||||||
| 値 | yes | |||||||||||||||
| 研究者情報 | ||||||||||||||||
| https://hyokadb02.jimu.kyutech.ac.jp/html/100001774_ja.html | ||||||||||||||||
| 論文ID（連携） | ||||||||||||||||
| 10435546 | ||||||||||||||||
| 連携ID | ||||||||||||||||
| 12352 | ||||||||||||||||
