WEKO3
アイテム
Relationships between the Power Semiconductor Device Property, Recombination Lifetime, Carbon Related Defects, and Carbon Concentration of Silicon Wafer
http://hdl.handle.net/10228/0002000730
http://hdl.handle.net/10228/0002000730ec43fc1f-23f7-4712-adbf-0d572c4800f8
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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| アイテムタイプ | 会議発表論文 = Conference Paper(1) | |||||||||||
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| 公開日 | 2024-06-05 | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||||||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Relationships between the Power Semiconductor Device Property, Recombination Lifetime, Carbon Related Defects, and Carbon Concentration of Silicon Wafer | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||
| 著者 |
Sasaki, Shun
× Sasaki, Shun
× Mitsugi, Noritomo
× Samata, Shuichi
× 大村, 一郎 |
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| 備考 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||
| 内容記述 | JSAP Kyushu Chapter Annual Meeting 2023 /The 8th Asian Applied Physics Conference (Asian-APC), November 25 - 26, 2023, Kyushu University | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 書誌情報 |
発行日 2023-11 |
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| 出版タイプ | ||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||
| 値 | yes | |||||||||||