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アイテム
ドライエッチングによる表面弾性波フィルタの製作
http://hdl.handle.net/10228/4388
http://hdl.handle.net/10228/4388d61e9b98-9ab1-4ea0-92d0-49186e355c0a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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tech57_p23_28.pdf (1.8 MB)
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| Item type | 紀要論文 = Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||
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| 公開日 | 2010-01-28 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | ドライエッチングによる表面弾性波フィルタの製作 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | Fabrication of Surface Acoustic Wave Filters Using a Dry Etching Technique | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||
| 著者 |
黒石, 正宏
× 黒石, 正宏
× 川上, 弘幸
× 遠山, 尚武
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| 書誌情報 |
九州工業大学研究報告. 工学 en : Bulletin of the Kyushu Institute of Technology. Science and technology 号 57, p. 23-28, 発行日 1988-09-01 |
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| 出版者 | ||||||||||||||||||
| 出版者 | 九州工業大学工学部 | |||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0453-0357 | |||||||||||||||||
| 版 | ||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||||||||
| 値 | no | |||||||||||||||||
