WEKO3
アイテム
ＡｒＦエキシマレーザ照射援用集積回路金属配線電解めっきおよびエッチング加工の研究
http://hdl.handle.net/10228/4716
http://hdl.handle.net/10228/4716a798352d-eca2-4929-97d0-d03bc7483d41
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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20760086seika.pdf (2.9 MB)
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| アイテムタイプ | 研究報告書 = Research Paper(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2010-11-11 | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||||||||
| 資源タイプ | research report | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | ＡｒＦエキシマレーザ照射援用集積回路金属配線電解めっきおよびエッチング加工の研究 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Study on electro plating and etching for metal interconnect in integrated circuit assisted with ArF excimer laser | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| 著者 |
カチョーンルンルアン, パナート
× カチョーンルンルアン, パナート
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| 備考 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||
| 内容記述 | 研究期間：2008～2009, 研究種目：若手研究（B）, 科学研究費補助金研究成果報告書 | |||||||||||
| 書誌情報 |
発行日 2010-06-10 |
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| 出版社 | ||||||||||||
| 出版者 | 九州工業大学 | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | ナノ･マイクロ加工 | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | ナノ構造作製 | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | 光応用加工 | |||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||
| 値 | no | |||||||||||
| 科研課題番号 | ||||||||||||
| 値 | 20760086 | |||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||
| 値 | 九州工業大学先端金型センター | |||||||||||
