@misc{oai:kyutech.repo.nii.ac.jp:00003795,
 author = {橋山, 雄一},
 month = {2013-11-06},
 note = {九州工業大学博士学位論文（要旨） 学位記番号:情工博甲第240号 学位授与年月日:平成22年3月24日},
 title = {CMPプロセスの材料除去メカニズムにおけるスラリーの基本的機能に関する研究},
 year = {}
}