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  1. 学位論文
  2. 学位論文(内容・審査の要旨)

重水素添加スパッタリング法を用いた低温製膜ITOの格子欠陥と電子物性に関する研究

http://hdl.handle.net/10228/5055
http://hdl.handle.net/10228/5055
646d942a-938a-42b8-b7eb-c0026fa1089e
名前 / ファイル ライセンス アクション
kou_otu_94.pdf kou_otu_94.pdf (793.0 kB)
Item type 学位論文 = Thesis or Dissertation(1)
公開日 2013-11-12
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec
資源タイプ thesis
タイトル
タイトル 重水素添加スパッタリング法を用いた低温製膜ITOの格子欠陥と電子物性に関する研究
言語 ja
言語
言語 jpn
著者 羅, 蘇寧

× 羅, 蘇寧

ja 羅, 蘇寧

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備考
内容記述タイプ Other
内容記述 九州工業大学博士学位論文(要旨) 学位記番号:工博乙第94号 学位授与年月日:平成23年3月25日
学位授与番号
学位授与番号 乙第94号
学位授与年月日
学位授与年月日 2011-03-25
学位授与機関
学位授与機関識別子Scheme kakenhi
学位授与機関識別子 17104
学位授与機関名 九州工業大学
出版タイプ
出版タイプ NA
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_be7fb7dd8ff6fe43
著者所属
九州工業大学大学院工学研究科
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Ver.1 2023-05-15 14:28:23.183411
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