WEKO3
アイテム
電子デバイス製造における省薬液ウエットプロセス技術に関する研究
https://doi.org/10.18997/00004054
https://doi.org/10.18997/00004054428fcdb8-7891-4c3a-a3a1-03df5574faa3
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
D-203_sei_k_218.pdf (2.6 MB)
|
|
| アイテムタイプ | 学位論文 = Thesis or Dissertation(1) | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2014-06-23 | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | 電子デバイス製造における省薬液ウエットプロセス技術に関する研究 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||
| 著者 |
櫻井, 直明
× 櫻井, 直明
|
|||||||||
| 目次 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | TableOfContents | |||||||||
| 内容記述 | 第1章 序章||第2章 電解水の製造方法とその効果||第3章 音波励起溶存酸素水の性質と洗浄効果||第4章 音波励起溶存水素水の性質と洗浄効果||第5章 音波励起アルカリ添加オゾン水の性質と洗浄効果||第6章 ディスプレイ用インクジェット塗布技術の開発||第7章 低分子EL材料のナノ粒子化による可溶化インクの形成||第8章 結論 | |||||||||
| 備考 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | 九州工業大学博士学位論文 学位記番号:生工博甲第218号 学位授与年月日:平成26年3月25日 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 洗浄 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | リソグラフィー | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | インクジェット | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | 機能水 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | エッチング | |||||||||
| アドバイザー | ||||||||||
| 早瀬, 修二 | ||||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||
| 学位授与番号 | 甲第218号 | |||||||||
| 学位名 | ||||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||
| 学位授与年月日 | 2014-03-25 | |||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||||
| 学位授与機関識別子 | 17104 | |||||||||
| 学位授与機関名 | 九州工業大学 | |||||||||
| 学位授与年度 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | 平成25年度 | |||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||
| アクセス権 | ||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||
| ID登録 | ||||||||||
| ID登録 | 10.18997/00004054 | |||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||
