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  1. 学術雑誌論文
  2. 5 技術(工学)

Real Time Failure Imaging System under Power Stress for Power Semiconductors using Scanning Acoustic Tomography (SAT)

http://hdl.handle.net/10228/5741
http://hdl.handle.net/10228/5741
10cafb1b-85be-4c7d-85ed-8ea4975ddb85
名前 / ファイル ライセンス アクション
nperc21.pdf nperc21.pdf (1.2 MB)
アイテムタイプ 学術雑誌論文 = Journal Article(1)
公開日 2016-09-13
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
タイトル
タイトル Real Time Failure Imaging System under Power Stress for Power Semiconductors using Scanning Acoustic Tomography (SAT)
言語 en
言語
言語 eng
著者 渡邉, 晃彦

× 渡邉, 晃彦

WEKO 16333
e-Rad 80363406
Scopus著者ID 55197191200
九工大研究者情報 89

en Watanabe, Akihiko

ja 渡邉, 晃彦

ja-Kana ワタナベ, アキヒコ


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大村, 一郎

× 大村, 一郎

WEKO 16176
e-Rad 10510670
Scopus著者ID 7003814580
九工大研究者情報 69

en Omura, Ichiro

ja 大村, 一郎

ja-Kana オオムラ, イチロウ


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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Failure mechanism of power semiconductors is captured as a movie image under power stress to the device in non-destructive way. The new technique is realized by combining a high speed Scanning Acoustic Tomography (SAT/SAM) and electrical power supply circuit for applying the power stress to the device. Water as acoustic wave couplant in SAT system, which has been a major disadvantage of the system, is utilized as coolant for stressed power to the device. Major barriers to accomplish this system are a severe noise due to a local convection with the heat and a formation of tiny bubbles on the observation surface. These problems are solved by introducing water jet along the scanning interface. This technique enables “real-time” failure analysis.
言語 en
備考
内容記述タイプ Other
内容記述 23rd European Symposium on Reliability of Electron Devices,. Failure Physics and Analysis, October 1-5, 2012, Cagliari, Italy
書誌情報 en : Microelectronics Reliability

巻 52, 号 9-10, p. 2081-2086, 発行日 2012-07-21
出版社
出版者 Elsevier
DOI
関連タイプ isVersionOf
識別子タイプ DOI
関連識別子 https://doi.org/10.1016/j.microrel.2012.06.090
NCID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA11538014
ISSN
収録物識別子タイプ PISSN
収録物識別子 0026-2714
ISSN
収録物識別子タイプ EISSN
収録物識別子 1872-941X
著作権関連情報
権利情報 Elsevier
出版タイプ
出版タイプ AM
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa
査読の有無
値 yes
連携ID
値 5593
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Ver.1 2023-05-15 14:34:02.973963
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