WEKO3
アイテム
IGBT Scaling Principle Toward CMOS Compatible Wafer Processes
http://hdl.handle.net/10228/5762
http://hdl.handle.net/10228/5762d14c47e1-47dc-4f63-8128-c2cfdd97690e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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nperc20.pdf (507.6 kB)
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| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 = Journal Article(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2016-09-13 | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | IGBT Scaling Principle Toward CMOS Compatible Wafer Processes | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||
| 著者 |
Tanaka, Masahiro
× Tanaka, Masahiro× 大村, 一郎
WEKO
16176
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| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | A scaling principle for trench gate IGBT is proposed. CMOS technology on large diameter wafer enables to produce various digital circuits with higher performance and lower cost. The transistor cell structure becomes laterally smaller and smaller and vertically shallower and shallower. In contrast, latest IGBTs have rather deeper trench structure to obtain lower on-state voltage drop and turn-off loss. In the aspect of the process uniformity and wafer warpage, manufacturing such structure in the CMOS factory is difficult. In this paper, we show the scaling principle toward shallower structure and better performance. The principle is theoretically explained by our previously proposed “Structure Oriented” analytical model. The principle represents a possibility of technology direction and roadmap for future IGBT for improving the device performance consistent with lower cost and high volume productivity with CMOS compatible large diameter wafer technologies. | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 書誌情報 |
en : Solid-State Electronics 巻 80, p. 118-123, 発行日 2012-12-20 |
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| 出版社 | ||||||||||||||
| 出版者 | Elsevier | |||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1016/j.sse.2012.10.020 | |||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11541347 | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 0038-1101 | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | EISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 1879-2405 | |||||||||||||
| 著作権関連情報 | ||||||||||||||
| 権利情報 | Elsevier | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | IGBT | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | More than Moor | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Constant field scaling | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Roadmap | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Compact model | |||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||||
| 値 | yes | |||||||||||||
| 連携ID | ||||||||||||||
| 値 | 5594 | |||||||||||||
