@misc{oai:kyutech.repo.nii.ac.jp:00000465,
 author = {老泉, 博昭},
 month = {2008-01-18},
 note = {九州工業大学博士学位論文（要旨） 学位記番号:工博甲第252号 学位授与年月日:平成19年3月23日},
 title = {極端紫外線（EUV）を用いたリソグラフィ基礎技術},
 year = {}
}