WEKO3
アイテム
Improved near-infrared sensitivity of a back-side illuminated image sensor with a metal reflector
http://hdl.handle.net/10228/00006100
http://hdl.handle.net/10228/0000610096755732-a806-4ea7-acf8-e771884afdb6
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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IEICE_EE6_341.pdf (314.5 kB)
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| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 = Journal Article(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2017-04-06 | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Improved near-infrared sensitivity of a back-side illuminated image sensor with a metal reflector | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||
| 著者 |
Ariyoshi, Tetsuya
× Ariyoshi, Tetsuya× Morita, Shozo× 馬場, 昭好
WEKO
16208
× 有馬, 裕 |
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| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | To improve the near-infrared sensitivity of an image sensor that has a conventional pixel structure, we made use of the metal wiring layer as a reflector in addition to the method of back-side illumination from the etched back surface of the sensor. We fabricated an image sensor that has a remaining silicon substrate thickness of 32 ± 4µm and evaluated the spectral sensitivity. For 830nm light, the sensitivity is about the same as for front-side illumination. For a wavelength of 970nm, the sensitivity was 2.2 times as high as for front-side illumination. The image sensor with reflector has about 30% higher sensitivity than without the reflector. | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 書誌情報 |
en : IEICE Electronics Express 巻 6, 号 6, p. 341-346, 発行日 2009-03-25 |
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| 出版社 | ||||||||||||||
| 出版者 | 電子情報通信学会 | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1587/elex.6.341 | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | EISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 1349-2543 | |||||||||||||
| 著作権関連情報 | ||||||||||||||
| 権利情報 | Copyright (c) IEICE 2017 | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | higher sensitivity | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | back-side illumination | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Deep-RIE | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | metal reflector | |||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||||
| 値 | yes | |||||||||||||
| 連携ID | ||||||||||||||
| 値 | 674 | |||||||||||||
