@inproceedings{oai:kyutech.repo.nii.ac.jp:00005282, author = {金田, 寛 and 米澤, 英晃 and Omura, Ichiro and 大村, 一郎}, book = {応用物理学会秋季学術講演会}, month = {Sep}, note = {第78回応用物理学会秋季学術講演会, 福岡国際会議場・福岡国際センター・福岡サンパレスホテル(福岡市), 2017年9月5日-8日}, publisher = {社団法人応用物理学会}, title = {シリコンウェーハにおける自由キャリアのバルク・表面再結合拡散モデル: II.キャリア濃度分布}, volume = {2017}, year = {2017}, yomi = {オオムラ, イチロウ} }