WEKO3
アイテム
難加工基板の高効率・高精度研磨手法に関する研究
https://doi.org/10.18997/00006992
https://doi.org/10.18997/000069927db56146-30e1-407d-9b83-735426f22add
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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jou_k_331.pdf (10.2 MB)
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| アイテムタイプ | 学位論文 = Thesis or Dissertation(1) | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-12-03 | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | 難加工基板の高効率・高精度研磨手法に関する研究 | |||||||||
| 言語 | ja | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | Study on high efficiency and high precision polishing method for hard-to-process material | |||||||||
| 言語 | en | |||||||||
| 言語 | ||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||
| 著者 |
鬼木, 喬玄
× 鬼木, 喬玄
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| 目次 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | TableOfContents | |||||||||
| 内容記述 | 第1章 緒論||第2章 CMP(Chemical Mechanical Polishing)技術||第3章 パッド表面形状を制御したマイクロパターンパッド||第4章 低屈折率透明パッドの開発||第5章 異なる材料を利用した形状発現型ポリシングパッドの開発||第6章 結論 | |||||||||
| 備考 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | 九州工業大学博士学位論文 学位記番号：情工博甲第331号 学位授与年月日：平成29年12月27日 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | CMP | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | ポリシングパッド | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | パッド表面形状 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | パッド材料 | |||||||||
| キーワード | ||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||
| 主題 | モニタリング | |||||||||
| アドバイザー | ||||||||||
| 鈴木, 恵友 | ||||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||
| 学位授与番号 | 甲第331号 | |||||||||
| 学位名 | ||||||||||
| 学位名 | 博士（情報工学） | |||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||
| 学位授与年月日 | 2017-12-27 | |||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||||
| 学位授与機関識別子 | 17104 | |||||||||
| 学位授与機関名 | 九州工業大学 | |||||||||
| 学位授与年度 | ||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||
| 内容記述 | 平成29年度 | |||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||
| アクセス権 | ||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||
| ID登録 | ||||||||||
| ID登録 | 10.18997/00006992 | |||||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||||
