WEKO3
アイテム
High-performance vertical Si PiN diode by hole remaining mechanism
http://hdl.handle.net/10228/00007020
http://hdl.handle.net/10228/00007020aa362a27-8157-43a3-8dac-4a8f80c3acf3
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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nperc75.pdf (583.6 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 = Journal Article(1) | |||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2019-02-15 | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | High-performance vertical Si PiN diode by hole remaining mechanism | |||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||
| 著者 |
Tsukuda, Masanori
× Tsukuda, Masanori× 馬場, 昭好
WEKO
16208
× Shiba, Yuji× 大村, 一郎
WEKO
16176
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| 抄録 | ||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | A novel diode with a unique trench shape is predicted by TCAD simulation to have high performance. The novel 600 V vertical PiN diode with hole pockets by the Bosch deep trench process shows a better trade-off curve between reverse recovery loss and forward voltage. The reverse recovery loss is reduced by half. In addition, the active chip size of the novel diode is reduced to two-thirds that of the conventional PiN diode in the same forward voltage. Thanks to the hole pockets with an electric field in the diagonal direction, the remaining hole suppresses the surge voltage with noise for high performance. In this paper, we specially focus on the analysis of phenomenon and the noise suppression mechanism during reverse recovery. The novel diode structure is a strong candidate when developing the fabrication process after silicon trench etching is established. | |||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
en : Solid-State Electronics 巻 129, p. 22-28, 発行日 2016-12-22 |
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| 出版社 | ||||||||||||||||||||||
| 出版者 | Elsevier | |||||||||||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1016/j.sse.2016.12.006 | |||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||
| 主題 | 549 | |||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA0084461X | |||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0038-1101 | |||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | EISSN | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 1879-2405 | |||||||||||||||||||||
| 著作権関連情報 | ||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | Elsevier | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | Diode | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | Vertical | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | Trench | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | Bosch | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | Hole | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | Reverse recovery | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||||||||||||
| 値 | yes | |||||||||||||||||||||
| 連携ID | ||||||||||||||||||||||
| 値 | 6107 | |||||||||||||||||||||
