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Hierarchal Decomposition for the Structure-Fluid-Electrostatic Interaction in a Microelectromechanical System
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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cmes.2015.108.429.pdf (1.0 MB)
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| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 = Journal Article(1) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2020-04-06 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Hierarchal Decomposition for the Structure-Fluid-Electrostatic Interaction in a Microelectromechanical System | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| その他のタイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| その他のタイトル | Hierarchal decomposition for the structure-fluid-electrostatic interaction in a microelectromechanical system | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
石原, 大輔
× 石原, 大輔
WEKO
6646
× 堀江, 知義
WEKO
799
× 二保, 知也
WEKO
1344
× 馬場, 昭好
WEKO
16208
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| 抄録 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | In this study, a hierarchal decomposition is proposed to solve the structure-fluid-electrostatic interaction in a microelectromechanical system (MEMS). In the proposed decomposition, the structure-fluid-electrostatic interaction is partitioned into the structure-fluid interaction and the electrostatic field using the iteratively staggered method, and the structure-fluid interaction is split into the structure-fluid velocity field and the fluid pressure field using the projection method. The proposed decomposition is applied to a micro cantilever beam actuated by the electrostatic force in air. It follows from the comparisons among the numerical and experimental results that the proposed method can predict the MEMS vibration characteristics accurately. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
en : Computer Modeling in Engineering & Sciences 巻 108, 号 6, p. 429-452, 発行日 2015 |
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| 出版社 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | Tech Science Press | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.3970/cmes.2015.108.429 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 549 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 1526-1492 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著作権関連情報 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | Copyright (c) 2015 Tech Science Press | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | structure-fluid-electrostatic interaction | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | decomposition | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | partitioning | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | splitting | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | finite element method | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | microelectromechanical system | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | staggered method | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | projection method | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | yes | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 研究者情報 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| URL | https://hyokadb02.jimu.kyutech.ac.jp/html/255_ja.html | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 論文ID（連携） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | 10351414 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 連携ID | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | 8200 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
