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Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible PI membranes
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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mnl.2017.0428.pdf (348.4 kB)
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| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 = Journal Article(1) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2020-04-08 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible PI membranes | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| その他のタイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| その他のタイトル | Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible polyimide membranes | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
村上, 直
× 村上, 直
WEKO
27508
× 石原, 大輔
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6646
× Araki, Masateru× Ohira, Naoto× 伊藤, 高廣
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27516
× 堀江, 知義
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799
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| 抄録 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | The authors have designed and microfabricated millimetre-scale wing-shaped hybrid microstructures composed of rigid structures of single crystal silicon (SCS) substrates and flexible polyimide (PI) membranes. The wing-shaped microstructures mimicking insect flapping flight have been newly designed using a fluid-structure interaction analysis, and the hybrid microstructures based on the design method have been successfully microfabricated using a simple process flow with SCS substrates coated with PI membranes. Shape of the SCS parts in the hybrid microstructures have been successfully fabricated using deep reactive ion etching of the SCS substrate with small etching rate, and the wing plates of PI membranes have been prepared with the photolithography and the curing processes. The flexibility of the PI membranes of the fabricated hybrid microstructures was also confirmed using the bending test of the PI membranes. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
Micro & Nano Letters 巻 12, 号 11, p. 913-915, 発行日 2017-11-09 |
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| 出版社 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | IEEE | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1049/mnl.2017.0428 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 571 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | EISSN | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 1750-0443 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 著作権関連情報 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | Copyright (c) 2017 IEEE. Personal use of this material is permitted. Permission from IEEE must be obtained for all other uses, in any current or future media, including reprinting/republishing this material for advertising or promotional purposes, creating new collective works, for resale or redistribution to servers or lists, or reuse of any copyrighted component of this work in other works. | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | yes | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 研究者情報 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| URL | https://hyokadb02.jimu.kyutech.ac.jp/html/255_ja.html | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 論文ID（連携） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | 10351415 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 連携ID | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 値 | 8207 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
