@phdthesis{oai:kyutech.repo.nii.ac.jp:00000790,
 author = {松中, 繁樹},
 month = {2008-09-25},
 note = {第1章 序論||第2章 イオン化スパッタに適したマグネット構造||第3章 イオン化スパッタによるゲート酸化膜ダメージの評価||第4章 ビアバリアメタル形成用イオン化スパッタ開発||第5章 300mm基板のバリア成膜用イオン化スパッタ開発||第6章 結論||謝辞||付録 A 発光分光による電子温度算出||付録 B プラズマシミュレーション||付録 B スパッタシミュレーション||参考文献, 九州工業大学博士学位論文 学位記番号:生工博甲第72号 学位授与年月日:平成20年3月25日, 平成19年度},
 school = {九州工業大学},
 title = {イオン化スパッタ法による微細金属配線成膜に関する研究},
 year = {}
}