@misc{oai:kyutech.repo.nii.ac.jp:00000909,
 author = {松中, 繁樹},
 month = {2009-02-17},
 note = {九州工業大学博士学位論文（要旨） 学位記番号:生工博甲第72号 学位授与年月日:平成20年3月25日},
 title = {イオン化スパッタ法による微細金属配線成膜に関する研究},
 year = {}
}