WEKO3
アイテム
柱状大結晶シリコン中の欠陥分布を観察するボルマン効果コンピュータトモグラフィ装置の試作研究
http://hdl.handle.net/10228/4443
http://hdl.handle.net/10228/4443499a3f03-9e1c-4666-aada-aa9a38b80d15
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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tech66_p25_35.pdf (3.4 MB)
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| アイテムタイプ | 紀要論文 = Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||
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| 公開日 | 2010-01-28 | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | 柱状大結晶シリコン中の欠陥分布を観察するボルマン効果コンピュータトモグラフィ装置の試作研究 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Construction of X-Ray Computer Tomographic Apparatus using Borrmann Effect to Reveal Defect Structures in Bulky Silicon Crystals | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| 著者 |
村田, 俊一
× 村田, 俊一× 城井, 英樹× 鈴木, 芳文
WEKO
13047
× 近浦, 吉則 |
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| 書誌情報 |
九州工業大学研究報告. 工学 en : Bulletin of the Kyushu Institute of Technology. Science and technology 号 66, p. 25-35, 発行日 1994-03-01 |
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| 出版者 | ||||||||||||
| 出版者 | 九州工業大学工学部 | |||||||||||
| ISSN | ||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||
| 収録物識別子 | 0453-0357 | |||||||||||
| 版 | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||
| 値 | no | |||||||||||
