WEKO3
アイテム
Sub-micron Junction Termination for 1200V Class Devices toward CMOS Process Compatibility
http://hdl.handle.net/10228/5756
http://hdl.handle.net/10228/575684c81bac-76ce-48e9-9e17-e936cdffed6e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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nperc28.pdf (659.1 kB)
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| Item type | 会議発表論文 = Conference Paper(1) | |||||||||||
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| 公開日 | 2016-09-13 | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||||||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Sub-micron Junction Termination for 1200V Class Devices toward CMOS Process Compatibility | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||
| 著者 |
Seto, Kota
× Seto, Kota× Takaishi, Junpei× Imaki, Hironori× Tanaka, Masahiro× Tsukuda, Masanori× 大村, 一郎
WEKO
16176
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| 抄録 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||
| 内容記述 | This study shows, for the first time, possibility of very shallow junction termination in submicron scale. The 2D-TCAD simulations unveil even 0.2μm junction depth structures are capable of blocking 1200V and usability for power devices with more than two hundreds of guard rings. Very shallow structure has robustness against diffusion depth deviation by special guard ring arrangement. | |||||||||||
| 備考 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||
| 内容記述 | 2013 25th International Symposium on Power Semiconductor Devices & IC's (ISPSD), May 26-30, 2013, Ishikawa Ongakudo, Kanazawa. Japan. | |||||||||||
| 書誌情報 |
2013 25th International Symposium on Power Semiconductor Devices & IC's (ISPSD) 号 1943-653X, p. 281-284, 発行日 2013-05 |
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| 出版社 | ||||||||||||
| 出版社 | IEEE | |||||||||||
| DOI | ||||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||
| 関連識別子 | info:doi/10.1109/ISPSD.2013.6694441 | |||||||||||
| 著作権関連情報 | ||||||||||||
| 権利情報 | IEEE | |||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||
| 値 | yes | |||||||||||
| 連携ID | ||||||||||||
| 値 | 5559 | |||||||||||
