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アイテム / Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible polyimide membranes / NEMS_2017_8017145
NEMS_2017_8017145
ファイル | ライセンス |
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NEMS_2017_8017145.pdf (325.8 kB) sha256 9f121347bd39d267789bf953d46ee4e6fd1ab1f5cc7350233c6abdc106ba7faa |
公開日 | 2020-04-09 | |||||
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ファイル名 | NEMS_2017_8017145.pdf | |||||
本文URL | https://kyutech.repo.nii.ac.jp/record/6494/files/NEMS_2017_8017145.pdf | |||||
ラベル | NEMS_2017_8017145.pdf | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 325.8 kB |
Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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