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  1. 学術雑誌論文
  2. 4 自然科学

Liquid-mediated crystallization of amorphous GeSn under electron beam irradiation

http://hdl.handle.net/10228/00008405
http://hdl.handle.net/10228/00008405
655b3eaf-e07a-44ad-82bb-87a35945ac41
名前 / ファイル ライセンス アクション
10367529.pdf 10367529.pdf (2.9 MB)
アイテムタイプ 学術雑誌論文 = Journal Article(1)
公開日 2021-07-16
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
タイトル
タイトル Liquid-mediated crystallization of amorphous GeSn under electron beam irradiation
言語
言語 eng
著者 Inenaga, Kohei

× Inenaga, Kohei

WEKO 31001

Inenaga, Kohei

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Motomura, Ryo

× Motomura, Ryo

WEKO 31002

Motomura, Ryo

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石丸, 学

× 石丸, 学

WEKO 25703
e-Rad 00264086
Scopus著者ID 7005976063
九工大研究者情報 100000642

en Ishimaru, Manabu

ja 石丸, 学

ja-Kana イシマル, マナブ


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Nakamura, Ryusuke

× Nakamura, Ryusuke

WEKO 31004

Nakamura, Ryusuke

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Yasuda, Hidehiro

× Yasuda, Hidehiro

WEKO 31005

Yasuda, Hidehiro

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Crystallization processes of amorphous germanium–tin (GeSn) under low-energy electron-beam irradiation were examined using transmission electron microscopy (TEM). Freestanding amorphous GeSn thin films were irradiated with a 100 keV electron beam at room temperature. The amorphous GeSn was athermally crystallized by electron-beam irradiation, when the electron flux exceeded the critical value. Heterogeneous structures consisting of nano- and micro-crystallites were formed after crystallization of amorphous GeSn with ∼24 at. % Sn in the as-sputtered amorphous state. In situ TEM observations of structural changes under electron-beam irradiation revealed that random nucleation and growth of nanocrystallites occur at the early stage of crystallization, followed by rapid formation of micro-grains surrounding the nanocrystals. It has been suggested that the growth of micro-grains progresses via supercooled liquid Sn at the amorphous/crystalline interface. The resultant GeSn grains with a size of a few micrometers contained ∼15 at. % Sn, much larger than the solubility limit of Sn in Ge (∼1 at. % Sn).
書誌情報 Journal of Applied Physics

巻 127, 号 20, p. 205304, 発行日 2020-05-26
出版社
出版者 AIP Publishing
DOI
関連タイプ isVersionOf
識別子タイプ DOI
関連識別子 https://doi.org/10.1063/5.0006416
日本十進分類法
主題Scheme NDC
主題 459
NCID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AA00693547
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0021-8979
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 1089-7550
著作権関連情報
権利情報 This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and AIP Publishing. This article appeared in Journal of Applied Physics and may be found at https://aip.scitation.org/doi/abs/10.1063/5.0006416.
出版タイプ
出版タイプ AM
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa
査読の有無
値 yes
研究者情報
URL https://hyokadb02.jimu.kyutech.ac.jp/html/100000642_ja.html
論文ID(連携)
値 10367529
連携ID
値 9024
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Ver.1 2023-05-15 13:17:39.535727
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