WEKO3
アイテム
Fabrication and Evaluation of a Thermoelectric Microdevice on a Free-Standing Substrate
http://hdl.handle.net/10228/2428
http://hdl.handle.net/10228/2428d14cc65f-1bd8-4b69-9230-68623a118110
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
JEMS-847.pdf (361.2 kB)
|
|
| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 = Journal Article(1) | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2009-07-23 | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Fabrication and Evaluation of a Thermoelectric Microdevice on a Free-Standing Substrate | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||
| 著者 |
Kurosaki, Jun-ichiro
× Kurosaki, Jun-ichiro× Yamamoto, Akihiro× Tanaka, Saburo× Cannon, James× 宮崎, 康次
WEKO
679
× 塚本, 寛 |
|||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | Using shadow masks prepared by standard microfabrication processes, wefabricated in-plane thermoelectric microdevices (4 mm 9 4 mm) made ofbismuth telluride thin films, and evaluated their performance. We usedBi0.4Te3.0Sb1.6 as the p-type semiconductor and Bi2.0Te2.7Se0.3 as the n-typesemiconductor. We deposited p- and n-type thermoelectric thin films on afree-standing thin film of Si3N4 (4 mm 9 4 mm 9 4 lm) on a Si wafer, andmeasured the output voltages of the microdevices while heating at the bottomof the Si substrate. The maximum output voltage of the thermoelectric devicewas 48 mV at 373 K. | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 書誌情報 |
en : Journal of Electronic Materials 巻 38, 号 7, p. 1326-1330, 発行日 2009-07 |
|||||||||||||
| 出版社 | ||||||||||||||
| 出版者 | Springer / The Minerals Metals & Materials Society | |||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1007/s11664-009-0819-y | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 0361-5235 | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | EISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 1543-186X | |||||||||||||
| 著作権関連情報 | ||||||||||||||
| 権利情報 | The original publication is available at www.springerlink.com | |||||||||||||
| 著作権関連情報 | ||||||||||||||
| 権利情報 | ©2009 TMS | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | 熱電発電 | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | MEMS | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Thermoelectricity | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Micro-device | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Bismuth telluride | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Waste heat recovery | |||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||||
| 値 | yes | |||||||||||||
| 研究者情報 | ||||||||||||||
| URL | https://hyokadb02.jimu.kyutech.ac.jp/html/26_ja.html | |||||||||||||
| 連携ID | ||||||||||||||
| 値 | 56 | |||||||||||||
| 業績ID | ||||||||||||||
| 値 | F67E0C452DA122EF492575F3003302B7 | |||||||||||||
