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  1. 学術雑誌論文
  2. 5 技術(工学)

Adsorption and abstraction of atomic hydrogen on the Si(110) surfaces

http://hdl.handle.net/10228/2502
http://hdl.handle.net/10228/2502
5030ef6f-d0e7-4849-bc3a-572b70903377
名前 / ファイル ライセンス アクション
Adsorption.pdf Adsorption.pdf (1.4 MB)
アイテムタイプ 学術雑誌論文 = Journal Article(1)
公開日 2009-09-29
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
タイトル
タイトル Adsorption and abstraction of atomic hydrogen on the Si(110) surfaces
言語 en
言語
言語 eng
著者 Khan, A. R

× Khan, A. R

WEKO 6717

en Khan, A. R

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Narita, Y

× Narita, Y

WEKO 6718

en Narita, Y

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並木, 章

× 並木, 章

WEKO 219
e-Rad_Researcher 40126941
Scopus著者ID 55806005100

en Namiki, Akira

ja 並木, 章

ja-Kana ナミキ, アキラ


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Kato, A

× Kato, A

WEKO 6720

en Kato, A

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Suemitsu, M

× Suemitsu, M

WEKO 6721

en Suemitsu, M

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 The abstraction reaction of D adatoms by H atoms have been investigated on the Si(1 1 0) surfaces. The direct abstraction to form HD molecules obeys a second-order rate law in D coverage θD. On the other hand, the indirect abstraction to form D2 molecules obeys a fourth-order rate law in θD. In addition to the direct abstraction, indirect abstraction to form HD molecules is also included due to piled H adatoms during H exposure. It is found that the indirect abstraction is promoted on the surfaces saturated with dideuterides, suggesting that dideuterides (dihydrides) play a significant role in the indirect abstraction paths. The kinetics of the abstraction reactions on the Si(1 1 0) surfaces look similar to those on the Si(1 0 0) surface. However, the delayed D2 desorption exhibits time profiles different from those on the Si(1 0 0) surfaces.
言語 en
書誌情報 en : Surface Science

巻 602, 号 11, p. 1979-1986, 発行日 2008-06-01
出版社
出版者 Elsevier
DOI
関連タイプ isVersionOf
識別子タイプ DOI
関連識別子 https://doi.org/10.1016/j.susc.2008.03.048
ISSN
収録物識別子タイプ PISSN
収録物識別子 0039-6028
ISSN
収録物識別子タイプ EISSN
収録物識別子 1879-2758
著作権関連情報
権利情報 Copyright © 2008 Elsevier B.V. All rights reserved.
キーワード
主題Scheme Other
主題 FTIR
キーワード
主題Scheme Other
主題 Thermal desorption
キーワード
主題Scheme Other
主題 Plasma processing
キーワード
主題Scheme Other
主題 Atom-solid interactions
キーワード
主題Scheme Other
主題 Momentary coverages
キーワード
主題Scheme Other
主題 Time response
キーワード
主題Scheme Other
主題 H-sticking; Hot complex
出版タイプ
出版タイプ AM
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa
査読の有無
値 yes
業績ID
値 4EF778E394E1E7554925764000103A0E
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Ver.1 2023-05-15 13:07:21.388188
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