WEKO3
アイテム
銅を拡散添加したシリコンウェーハーのX線回折固有反射半値幅の測定
http://hdl.handle.net/10228/4183
http://hdl.handle.net/10228/4183a52b75a5-1854-47a5-b500-3b54f2315028
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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tech40_p167_175.pdf (2.1 MB)
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| アイテムタイプ | 紀要論文 = Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2010-01-28 | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | 銅を拡散添加したシリコンウェーハーのX線回折固有反射半値幅の測定 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | X-Ray Measurements of Half-Widths of Intrinsic Rocking Curve of Copper-Doped Silicon Wafers by means of Double-Crystal Technique | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| 著者 |
近浦, 吉則
× 近浦, 吉則
× 山田, 啓義
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| 書誌情報 |
九州工業大学研究報告. 工学 en : Bulletin of the Kyushu Institute of Technology. Science and technology 号 40, p. 167-175, 発行日 1980-03-01 |
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| 出版者 | ||||||||||||||
| 出版者 | 九州工業大学 | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 0453-0357 | |||||||||||||
| 版 | ||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||||
| 値 | no | |||||||||||||
