WEKO3
アイテム
CMPプロセスの材料除去メカニズムにおけるスラリーの基本的機能に関する研究
https://doi.org/10.18997/00003611
https://doi.org/10.18997/00003611c03181a7-4abe-4c5b-964f-d0b522d70f39
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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jou_k_240.pdf (3.9 MB)
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| Item type | 学位論文 = Thesis or Dissertation(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2010-12-27 | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | CMPプロセスの材料除去メカニズムにおけるスラリーの基本的機能に関する研究 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | Study on basic functions of slurry for material removal mechanism in Chemical Mechanical Polishing process | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 著者 |
橋山, 雄一
× 橋山, 雄一
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| 目次 | ||||||||
| 内容記述タイプ | TableOfContents | |||||||
| 内容記述 | 第１章 緒論||第２章 平坦化CMP技術||第３章 スラリー流れの可視化による材料除去メカニズムの考察||第４章 原子間力顕微鏡を用いたスラリー中の粒子分布状態の考察||第５章 CMPプロセスにおける材料除去メカニズムの理論的考察||第６章 化学反応層の性質と研磨粒子の機能||第7章 研磨実験による凝着現象の確認||第８章 結論 | |||||||
| 備考 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 九州工業大学博士学位論文 学位記番号:情工博甲第240号 学位授与年月日:平成22年3月24日 | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | CMP | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Material removal | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Slurry | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | AFM | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Polishing | |||||||
| アドバイザー | ||||||||
| 木村, 景一 | ||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲第240号 | |||||||
| 学位名 | ||||||||
| 学位名 | 博士（情報工学） | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2010-03-24 | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||
| 学位授与機関識別子 | 17104 | |||||||
| 学位授与機関名 | 九州工業大学 | |||||||
| 学位授与年度 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 平成21年度 | |||||||
| 出版タイプ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
| ID登録 | ||||||||
| ID登録 | 10.18997/00003611 | |||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||
