WEKO3
アイテム
µ-PCD法によるエピタキシャルウェーハ評価の精度に関する検討
http://hdl.handle.net/10228/00006495
http://hdl.handle.net/10228/000064958d2789f9-114b-49cf-aea3-7fe99bb8f9b9
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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nperc97.pdf (657.2 kB)
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| Item type | 会議発表論文 = Conference Paper(1) | |||||||||||
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| 公開日 | 2018-01-10 | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||||||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | µ-PCD法によるエピタキシャルウェーハ評価の精度に関する検討 | |||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| その他のタイトル | ||||||||||||
| その他のタイトル | Investigation of Epitaxial Wafer Evaluation Accuracy with Microwave Photoconductivity Decay | |||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| 著者 |
真辺, 航
× 真辺, 航× 大村, 一郎
WEKO
16176
× 附田, 正則 |
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| 抄録 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||
| 内容記述 | We discussed applying the microwave photoconductivity decay (µ-PCD) to measure carrier lifetime of silicon epitaxial wafer. This paper clarified the range of evaluable substrate concentration and thickness by construction of conditional expression and TCAD simulation. The result becomes guideline on evaluation accuracy of epitaxial wafer for power device. | |||||||||||
| 備考 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||
| 内容記述 | 電気学会電子デバイス/半導体電力変換合同研究会（IEE-SPC）パワーデバイス・パワーエレクトロニクスとその実装技術, 2017年11月20日-21日, 鹿児島大学 稲盛会館, 鹿児島県 | |||||||||||
| 書誌情報 |
電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会 巻 2017, p. 7-11, 発行日 2017-11-20 |
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| 出版社 | ||||||||||||
| 出版社 | 一般社団法人電気学会 | |||||||||||
| NAID | ||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||
| 識別子タイプ | NAID | |||||||||||
| 関連識別子 | 40021407424 | |||||||||||
| 著作権関連情報 | ||||||||||||
| 権利情報 | 一般社団法人電気学会 | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | パワーデバイス | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | エピタキシャルウェーハ | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | キャリアライフタイム | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | マイクロ波光導電減衰法 | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | TCADシミュレーション | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | 評価精度 | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | Power Device | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | Epitaxial Wafer | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | Carrier lifetime | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | Microwave Photoconductivity Decay | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | TCAD Simulation | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | Evaluation Accuracy | |||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||
| 値 | yes | |||||||||||
| 連携ID | ||||||||||||
| 値 | 6600 | |||||||||||
