WEKO3
アイテム
ベルト駆動型多関節ロボットの軌道逸脱を低減する目標軌道のウエハ産業用設計事例
http://hdl.handle.net/10228/0002000615
http://hdl.handle.net/10228/000200061530812f64-ea1b-4c22-98c2-43bda9656c0a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
10430459.pdf (1.4 MB)
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| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 = Journal Article(1) | |||||||||||||
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| 公開日 | 2024-05-10 | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Wafer Industry Design Case Study of Target Trajectory for Reducing Trajectory Deviation of a Belt-Driven Articulated Robot | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | ベルト駆動型多関節ロボットの軌道逸脱を低減する目標軌道のウエハ産業用設計事例 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||
| 著者 |
藤村, 統太
× 藤村, 統太
× 福井, 善朗
× 伊藤, 博 |
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| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | This paper deals with high-speed and high-precision transfer control of silicon wafers by a belt-driven robot. We propose a target trajectory design while we only can change the trajectory due to the industry’s strict development limitations. The proposed trajectory design has a piecewise linear type velocity profile. Gradients of each segment in the piecewise profile, that is acceleration, are designed with a consideration of two factors: The effects of belt elasticity and kinematics between the amount of belt elongation and the amount of tracking error. To reduce the amount of tracking error effectively, we also propose a design indicator which combines the two factors for designing the profile. An experiment with the belt-driven type wafer transfer robot UTM-R3700F, currently in use in industry, illustrates that the proposed trajectory design with the proposed indicator reduces tracking error compared to the conventional trajectory design. | |||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : システム制御情報学会論文誌 en : Transactions of the Institute of Systems, Control and Information Engineers 巻 36, 号 11, p. 392-399, 発行日 2023-11-15 |
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| 出版社 | ||||||||||||||
| 出版者 | システム制御情報学会 | |||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.5687/iscie.36.392 | |||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
| 収録物識別子 | AN1013280X | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 1342-5668 | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | EISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 2185-811X | |||||||||||||
| 著作権関連情報 | ||||||||||||||
| 権利情報 | Copyright (c) 2023 一般社団法人 システム制御情報学会 | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | robot control | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | belt driven robot | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | wafer transfer robot | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | trajectory tracking | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | trajectory design | |||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||||
| 値 | no | |||||||||||||
| 研究者情報 | ||||||||||||||
| URL | https://hyokadb02.jimu.kyutech.ac.jp/html/235_ja.html | |||||||||||||
| 論文ID（連携） | ||||||||||||||
| 値 | 10430459 | |||||||||||||
| 連携ID | ||||||||||||||
| 値 | 12238 | |||||||||||||
