WEKO3
アイテム
電気接触子への応用を目指した導電性ダイヤモンド膜の合成
http://hdl.handle.net/10228/00006107
http://hdl.handle.net/10228/000061077114988b-0229-4177-8f4b-b7b30af83a03
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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IEICE_EMD2008_21.pdf (841.5 kB)
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| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 = Journal Article(1) | |||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2017-04-06 | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | 電気接触子への応用を目指した導電性ダイヤモンド膜の合成 | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||
| タイトル | Synthesis of electroconductive diamond film for application as electrical contact | |||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||
| 著者 |
坪田, 敏樹
× 坪田, 敏樹
WEKO
7315
× 濱山, 知勇× 村上, 直哉× 横野, 照尚
WEKO
6794
× 末永, 知子× 長畑, 博之 |
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| 抄録 | ||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | 導電性ダイヤモンドを電気接触子に応用することを考えた。導電性CVDダイヤモンド膜をタングステン基板表面に合成した。その試料の表面形態、膜厚、電気抵抗値などを測定した。合成された膜の表面は、凹凸があり、電気接触子に好ましい形状であった。膜厚の合成時間依存性を測定した結果から、ダイヤモンドが析出するまでに炭化物層が形成されていることが示唆される。XRD測定の結果から、析出物にダイヤモンド相が含まれていることが確認できた。押し付けた状態での電気抵抗値を測定した結果、未処理のタングステン基板と同程度かそれ以下の電気抵抗値を示した。今後、更なる詳細な実験が必要である。 | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||
| 内容記述 | We try to use electroconductive CVD diamond film as the material for electrical contact. Electroconductive CVD diamond film was synthesized on W plate. Surface morphology, thickness of the deposit, electrical resistance, and so on were measured. The surface morphology should be suitable for electrical contact. Before the deposition of diamond layer, carbide should be synthesized on the substrate. The electrical resistance at pressed condition was measured, and the values were similar to that of W plate, which is the substrate of this CVD process. | |||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
ja : 電子情報通信学会技術研究報告. EMD, 機構デバイス 巻 108, 号 404, p. 21-25, 発行日 2009-01-16 |
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| 出版社 | ||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 電子情報通信学会 | |||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||
| CRID | ||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | CRID | |||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://cir.nii.ac.jp/crid/1050001338910958592 | |||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AN10383978 | |||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | EISSN | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 2432-6380 | |||||||||||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | PISSN | |||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0913-5685 | |||||||||||||||||||||
| 著作権関連情報 | ||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | 電子情報通信学会. 本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである。 | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | 電気接触子 | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | ダイヤモンド | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | コンタクト材料 | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | テスト工程 | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | electrical contact | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | diamond | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | contact material | |||||||||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||
| 主題 | test process | |||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||||||||||||
| 値 | yes | |||||||||||||||||||||
| 連携ID | ||||||||||||||||||||||
| 値 | 914 | |||||||||||||||||||||
