WEKO3
アイテム
Optical and electrical properties of indium tin oxide thin films sputter-deposited in working gas containing hydrogen without heat treatments
http://hdl.handle.net/10228/00006433
http://hdl.handle.net/10228/000064336428c140-12dd-47d9-821e-55744ea8597d
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
ml_63_6_7.pdf (370.4 kB)
|
|
| アイテムタイプ | 学術雑誌論文 = Journal Article(1) | |||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2017-11-15 | |||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||
| タイトル | Optical and electrical properties of indium tin oxide thin films sputter-deposited in working gas containing hydrogen without heat treatments | |||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||
| 著者 |
Luo, Suning
× Luo, Suning× Okada, Koichi× 古曵, 重美× Tsutsui, Fuki× 下岡, 弘和
WEKO
1489
× Shoji, Fumiya |
|||||||||||||
| 抄録 | ||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||
| 内容記述 | Polycrystalline thin films of indium tin oxide sputter-deposited in the working gas containing hydrogen of 0.3–1.5% exhibited transmittance of ≥ 80% for visible lights and blue-shift of ≥ 0.1 eV in the optical absorption energy. The film deposited in the gas containing hydrogen of 1% demonstrated almost flat temperature-dependent resistivity and the lowest resistivity of ≈ 1.5 × 10− 4 Ω cm at room temperature. The carrier density showed an inverse V-shaped behavior with the maximum at the hydrogen concentration of 1%. The mobility stayed at almost constant below the hydrogen concentration of 1% and dropped rather rapidly above 1%. | |||||||||||||
| 書誌情報 |
Materials Letters 巻 63, 号 6-7, p. 641-643, 発行日 2009-03-15 |
|||||||||||||
| 出版社 | ||||||||||||||
| 出版者 | Elsevier | |||||||||||||
| DOI | ||||||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||
| 関連識別子 | info:doi/10.1016/j.matlet.2008.12.008 | |||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11537623 | |||||||||||||
| ISSN | ||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||
| 収録物識別子 | 0167-577X | |||||||||||||
| 著作権関連情報 | ||||||||||||||
| 権利情報 | Elsevier | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Hydrogen | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Indium tin oxide | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Optical transmittance | |||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||
| 主題 | Carrier transport | |||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||||||||
| 査読の有無 | ||||||||||||||
| 値 | yes | |||||||||||||
| 研究者情報 | ||||||||||||||
| URL | https://hyokadb02.jimu.kyutech.ac.jp/html/102_ja.html | |||||||||||||
| 論文ID（連携） | ||||||||||||||
| 値 | 10020175 | |||||||||||||
| 連携ID | ||||||||||||||
| 値 | 269 | |||||||||||||
| 情報源 | ||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1016/j.matlet.2008.12.008 | |||||||||||||
