WEKO3
アイテム
イオン化スパッタ法による微細金属配線成膜に関する研究
https://doi.org/10.18997/00000784
https://doi.org/10.18997/000007845ab9b159-b5e1-4b85-902c-ea92aab3c289
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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D-26_sei_k_72.pdf (1.5 MB)
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| Item type | 学位論文 = Thesis or Dissertation(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2008-09-25 | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | イオン化スパッタ法による微細金属配線成膜に関する研究 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | Study of fine metallic wiring using ionized sputtering | |||||||
| 言語 | en | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 著者 |
松中, 繁樹
× 松中, 繁樹
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| 目次 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 第1章 序論||第2章 イオン化スパッタに適したマグネット構造||第3章 イオン化スパッタによるゲート酸化膜ダメージの評価||第4章 ビアバリアメタル形成用イオン化スパッタ開発||第5章 300mm基板のバリア成膜用イオン化スパッタ開発||第6章 結論||謝辞||付録 A 発光分光による電子温度算出||付録 B プラズマシミュレーション||付録 B スパッタシミュレーション||参考文献 | |||||||
| 備考 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 九州工業大学博士学位論文 学位記番号:生工博甲第72号 学位授与年月日:平成20年3月25日 | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Ionized sputter | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Diverging magnetic field | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Bottom coverage | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Barrier metal | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Unbalanced magnet | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Antenna MOS | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Asymmetry property | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | Via | |||||||
| アドバイザー | ||||||||
| 早瀬, 修二 | ||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲第72号 | |||||||
| 学位名 | ||||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2008-03-25 | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||
| 学位授与機関識別子 | 17104 | |||||||
| 学位授与機関名 | 九州工業大学 | |||||||
| 学位授与年度 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 平成19年度 | |||||||
| 出版タイプ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
| アクセス権 | ||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||
| ID登録 | ||||||||
| ID登録 | 10.18997/00000784 | |||||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||||
